半导体面板属于高端制造业，现场设备大多从国外进口，设备数据采集成本高。同时连续型生产过程对设备稳定性依赖度高，停机损失大。传统设备管理模式已经无法满足半导体企业对设备管理需求。PreMaint设备健康管理平台专为新一代设备管理而生，实现管理全场景闭环。

针对厂端CVD（化学气相沉积）PUMP的非计划停机问题， PreMaint对旋转设备的状态监测和故障智能诊断模块进行部署。现场PUMP设备数据以每秒5万Hz的采样频率实时上传到PreMaint专有云，振动信号的细微变化都可以被东智PreMaint专家平台识别分析，系统内置的大数据算法有效识别了PUMP的劣化趋势和故障智能诊断，为PUMP设备的安全运行保驾护航。

行业背景

半导体企业连续化生产进度对设备稳定性，安全性的依赖度较高，如发生设备质量问题，轻则影响面板的生产质量，重则引发计划外的停机事故，造成巨大的经济财产损失。大型的半导体生产企业生产规模巨大，车间厂房生产设备众多，导致传统的基于点巡检的维修管理手段工作量巨大，对于生产状态良好的生产设备极易造成过度维护，对于一些因长时间服役造成疲劳破坏的设备又显得维护不足。

在半导体生产制程中，PUMP是关键部件之一，有助于CVD化学气相沉积等核心制程的稳定性提高及能耗降低。PUMP宕机会造成机台无法正常运转，造成产能上的损失，更可能导致制程腔倒灌，对机台造成损害。以某次CVD制程中的PUMP为例，生产过程中会产生大量的固态粉尘，从而导致PUMP卡死。目前由于缺乏有效的设备监测手段，设备极易出现非计划停机，每年造成企业近千万元的经济损失。

解决方案

由于设备现场空间密闭、侵入式的数据采集会对原装设备、工艺造成不可预算的风险。基于这些因素客户采用了东智GVS系列无线振动温度一体传感器，通过磁吸固定在PUMP上进行高频数据的采集，并通过网关将采集到的振动和温度数据实时传输到PreMaint系统中，结合PUMP本体工况数据综合分析评估设备的运行状态。
 

PreMaint可以有效感知并诊断出这类积累性故障问题。其中，感知硬件如信号监测传感器负责24小时不间断监测设备的运行状态；软件部分通过分析设备运行数据，评估设备的劣化过程并给出设备异常状态预警及报警。

方案的优势在于：

1.GVS传感器通过磁座固定在PUMP上，不会对设备造成破坏，对设备运行无影响。

2.GVS传感器通过特制电池供电，续航时间3年。

3.系统采用无线部署，实施快速，无线性能强悍，即使在PUMP高温密闭的工作环境下，数据传输仍然保持稳定。

4.PreMaint系统内置数据分析算法，可对监测数据进行多维的分析，准确评估设备状态。

监测案例

在方案部署后的一个月内，PreMaint明确感知出设备的裂化趋势。

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应用成效

企业过去为保证PUMP健康稳定工作，主要还是依靠定期保养或点检表单例行检查，根据连续运转时间并配合望闻问切的基础方式偏经验式的做预判。在消耗了大量人力进行点检的同时，仍会出现多次异常导致设备宕机停机，损失高达千万。
 

PreMaint通过高频采集PUMP运行状态参数，准确判断出PUMP的劣化趋势，提前提醒客户设备的潜在故障，并进行及时修复，避免了设备非计划停机对生产造成影响，有效延长了设备的使用寿命，提高设备与人员管理效率。PreMaint的综合性能比国外同类产品优化1倍以上。日前，PreMaint在半导体行业的落地实践取得了更多突破，在生产设备上的应用效果显著，获得客户高度认可。

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